CZ硅单晶等径生长阶段关键参数优化研究

目录

声明

1 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 硅单晶生长过程建模研究现状

1.2.2 硅单晶生长工艺参数优化研究现状

1.3 主要研究内容及章节安排

2 硅单晶生长原理及其特性分析

2.1 硅单晶制备方法概述

2.2 CZ硅单晶生长工艺流程介绍

2.3 CZ硅单晶生长过程特性分析

2.4 本章小结

3 CZ 硅单晶等径阶段关键参数识别

3.1 CZ硅单晶等径阶段特征参数

3.2 硅单晶等径阶段关键参数识别

3.2.1 关键参数识别方法

3.2.2 基于 Pearson 系数的参数冗余性分析

3.2.3 基于 MIC 的参数相关性分析

3.3 本章小结

4 CZ 硅单晶等径阶段模型辨识

4.1 加热器温度-晶体直径特性分析

4.2 数据来源及预处理

4.2.1 辨识数据来源

4.2.2 数据预处理

4.3 加热器温度-晶体直径模型结构辨识

4.3.1 模型时滞确定

4.3.2 模型阶次确定

4.4 加热器温度-晶体直径模型参数辨识

4.4.1 基于 BP 神经网络的模型参数辨识

4.4.2 基于 NARX 神经网络的模型参数辨识

4.4.3 基于 SVR 支持向量回归的模型参数辨识

4.4.4 模型参数辨识实验与分析

4.5 模型检验

4.6 本章小结

5 CZ 硅单晶等径阶段晶体直径控制

5.1 预测控制基本原理

5.1.1 预测模型

5.1.2 滚动优化

5.1.3 反馈校正

5.2 CZ硅单晶等径阶段晶体直径预测控制

5.2.1 NARX 神经网络多步预测模型

5.2.2 基于 LM算法滚动优化

5.2.3 反馈校正

5.3 仿真实验与分析

5.4 本章小结

6 总结与展望

6.1 工作总结

6.2 研究展望

参考文献

个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果

致谢