一种CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置，包括有基座，其特征在于：所述基座上架设有固定框架，所述固定框架上设有可升降的升降平台，所述升降平台由其底端的液压缸驱动，所述升降平台上安装有伸缩臂，所述伸缩臂由其后端的丝杆驱动，所述伸缩臂的前端安装有抱夹装置。本实用新型结构设计合理，通过抱夹装置上的丝杆的进动伸缩带动抱夹的张与合，来抱紧、松开单晶硅棒，很好地解决了在狭长的有限空间内抱夹晶棒以及大尺寸硅单晶炉副室取棒的难题，可根据需要进行实时调节，方便操作控制，人工省时省力，取棒效率高。