用于气体的下游离解的方法和装置

摘要

用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。