用于下游气体离解的方法和设备

摘要

一种用于活化和离解气体的方法和设备，包括用位于一个室中的等离子体产生活化气体。相对于该室的出口设置下游气体进口，使活化气体能够促进通过该气体进口引入的下游气体的离解，其中离解的下游气体基本不会与所述室的内表面发生相互作用。