模态激励悬臂微梁及其模态形状电极的宽度确定方法

摘要

本发明公布了一种模态激励悬臂微梁及其模态形状电极的宽度确定方法，属微机电系统MEMS领域。所述模态激励悬臂微梁，包括弹性微梁、悬臂支承模块、模态形状电极。所述模态形状电极的宽度确定方法包括：确定悬臂微梁的尺寸，通过悬臂支承模块在弹性微梁和驱动电极间加电压，采用模态函数曲线作为驱动电极的基本形状，得到模态形状电极宽度。本发明结构简单，模态阶数可以按需求选择，不会引起模态截断误差，测试精度高。