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Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589
Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589
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1.
Inductively Coupled MEMS-Based Micro RFID Transponder
机译:
基于MEMS的电感耦合微型RFID应答器
作者:
Hong M. Lu
;
Chuck Goldsmith
;
Jeong-Bong Lee
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
2.
The Influence of Varying Sputter Deposition Conditions on the Wet Chemical Etch Rate of AlN Thin Films
机译:
溅射沉积条件的变化对AlN薄膜湿化学腐蚀速率的影响
作者:
A. Ababneh
;
H. Kreher
;
H. Seidel
;
U. Schmid
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
aluminium nitride;
thin film;
sputter deposition;
wet etching;
activation energy;
etch rate;
3.
SMA micro actuators for active shape control, handling technologies and medical applications
机译:
SMA微型执行器,用于主动形状控制,处理技术和医疗应用
作者:
M. Leester-Schaedel
;
B. Hoxhold
;
S. Demming
;
S. Buettgenbach
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
shape memory alloys (SMA);
micro actuator;
micro gripper;
4.
An alternative system for mycotoxin detection based on amorphous silicon sensors
机译:
基于非晶硅传感器的另一种真菌毒素检测系统
作者:
D. Caputo
;
G. de Cesare
;
P. De Rossi
;
C. Fanelli
;
A. Nascetti
;
A. Ricelli
;
R. Scipinotti
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
amorphous silicon;
toxin detection;
ochratoxin A;
photosensor;
5.
The MicroActive project: automatic detection of disease-related molecular cell activity
机译:
MicroActive项目:自动检测与疾病相关的分子细胞活性
作者:
Liv Furuberg
;
Michal Mielnik
;
Ib-Rune Johansen
;
Joerg Voitel
;
Anja Gulliksen
;
Lars Solli
;
Frank Karlsen
;
Tobias Bayer
;
Friedhelm Schoenfeld
;
Klaus Drese
;
Helen Keegan
;
Cara Martin
;
John OLeary
;
Lutz Riegger
;
Peter Koltay
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
biomedical;
sensor;
molecular diagnostics;
microfluidics;
lab-on-a-chip;
dried reagents;
spotting;
valve;
6.
DLC/TiNi microcage for biopsy applications
机译:
用于活检的DLC / TiNi微笼
作者:
Y. Q. Fu
;
J. K. Luo
;
S. E. Ong
;
S. Zhang
;
A. J. Flewitt
;
W. I. Milne
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
shape memory;
TiNi;
DLC;
film;
microcage;
biocompatibility;
7.
Pulse voltammetry wine defects identification by means of miniaturized microelectrodes
机译:
脉冲伏安法通过微型微电极识别酒中的缺陷
作者:
L. Francioso
;
R. Bjorklund
;
P. Siciliano
;
T.K. Rulcker
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
microelectrodes;
microfabrication;
wine defects identification;
PCA;
8.
Quartz Crystal Nano-balancc for hydrogen sensing at room temperature using carbon nanotubes aggregates
机译:
使用碳纳米管聚集体在室温下感测氢气的石英晶体纳米平衡物
作者:
M. Lucci
;
F. Toschi
;
V. Sessa
;
S. Orlanducci
;
E. Tamburri
;
M. L. Terranova
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
sensor;
hydrogen;
QCM;
carbon nanotube;
9.
Micro and nanotechnologies for the development of an integrated chromatographic system
机译:
微米和纳米技术,用于开发集成色谱系统
作者:
O.Casals
;
A. Romano-Rodriguez
;
X. Illa
;
C. Zamani
;
A.Vila
;
J.R. Morante
;
I. Gracia
;
P. Ivanov
;
N. Sabate
;
L. Fonseca
;
J. Santander
;
E. Figueras
;
C. Cane
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
microfabrication;
gas chromatographic system;
DRIE;
microdropping;
metal oxide;
gas sensors;
10.
IDENTIFICATION OF WINE DEFECTS BY MEANS OF A MINIATURIZED ELECTRONIC TONGUE
机译:
用微量化的电子舌鉴定葡萄酒缺陷
作者:
G. Verrelli
;
L. Francioso
;
P. Siciliano
;
C. Di Natale
;
A. DAmico
;
R. Paolesse
;
F. Logrieco
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
electronic tongue;
silicon technology;
sensors miniaturization;
11.
On the influence of nano-sized palladium clusters at the surface of SnO_2-thin films on the gas response
机译:
SnO_2薄膜表面纳米钯簇对气体响应的影响
作者:
Stefan Palzer
;
Emmanuel Moretton
;
Chunrong Yin
;
Bernd von Issendorff
;
Juergen Woellenstein
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
SnO_2;
thin film;
gas sensor;
surface catalyst;
nano-sized palladium clusters;
12.
Three-Dimensional Simulation of Sacrificial Etching
机译:
牺牲蚀刻的三维模拟
作者:
Johann Cervenka
;
Hajdin Ceric
;
Siegfried Selberherr
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
MEMS;
sacrificial etching;
free-standing structures;
topography simulation;
13.
Temperature Stress Impact on Power RF MEMS Switches
机译:
温度应力对功率RF MEMS开关的影响
作者:
Chloe Bordas
;
Katia Grenier
;
David. Dubuc
;
Mathieu Paillard
;
Jean-Louis Cazaux
;
Robert Plana
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
radio frequency microelectromechanical systems (RF MEMS);
thermal stress;
stiffness;
capacitive switch;
actuation voltage;
14.
Nano and micro stripe based metal oxide thin film gas sensor
机译:
基于纳米和微条的金属氧化物薄膜气体传感器
作者:
Stefan Palzer
;
Emmanuel Moretton
;
Francisco Hernandez Ramirez
;
Albert Romano-Rodriguez
;
Juan Ramon Morante
;
Juergen Woellenstein
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
metal oxide;
gas sensor;
nanostripes;
microstripes;
15.
Germanium as an integrated resistor material in RF MEMS switches
机译:
锗作为RF MEMS开关中的集成电阻器材料
作者:
K. Grenier
;
C. Bordas
;
S. Pinaud
;
L. Salvagnac
;
D. Dubuc
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
germanium;
RF MEMS;
integrated resistor;
millimeterwave;
process compatibility;
16.
Physical modeling of a highly sensitive linear MOS sensor for 2D detection of magnetic fields
机译:
用于磁场二维检测的高灵敏度线性MOS传感器的物理建模
作者:
Ali Abou-Elnour
;
Ossama Abo-Elnor
;
Essam Y. Mohamed
;
M. Marzouk Ibrahim
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
MOSFET magnetic sensors;
geometrical correction factor;
transient simulation;
2D physical simulators;
17.
A Novel Low-Power Fluxgate Sensor Using a Macroscale Optimisation Technique for Space Physics Instrumentation
机译:
一种使用宏优化技术的新型低功耗通量门传感器,用于空间物理仪器
作者:
G. Dekoulis
;
F. Honary
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
sensor;
fluxgate;
MEMS;
optimisation;
space physics instrumentation;
18.
A Tuning Fork Gyroscope With Compensated Imbalance Signal
机译:
具有补偿不平衡信号的音叉陀螺仪
作者:
E. Arnold
;
F. Nuscheler
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
MEMS gyroscope;
tuning fork;
quadrature error;
amplitude gain control;
imbalance signal;
disequilibrium signal;
19.
A new micromachined sensor system for tactile measurements of high aspect ratio microstructures
机译:
用于高纵横比微结构的触觉测量的新型微机械传感器系统
作者:
M. Balke
;
E. Peiner
;
L. Doering
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
micrometrology;
piezoresistive strain gauge;
silicon micromachining;
wet chemical etching;
noise measurement;
finite element method;
simulation;
20.
Searching for hypothetical forces in the Casimir regime using a MEMS based force sensor
机译:
使用基于MEMS的力传感器在卡西米尔体制中搜索假设力
作者:
Ricardo S. Decca
;
Daniel Lopez
;
Dennis E. Krause
;
Ephraim Fischbach
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
precise force measurements;
MEMS;
torsional oscillators;
casimir forces;
hypothetical forces;
21.
Silicon Cantilever Sensor for Micro-/Nanoscale Dimension and Force Metrology
机译:
硅悬臂梁传感器,用于微米/纳米尺度和力计量
作者:
Erwin Peiner
;
Lutz Doering
;
Michael Balke
;
Andreas Christ
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
piezoresistive cantilever;
probing tip;
tactile probe sensor;
force metrology;
22.
Fabrication process for a flexible tag microlab
机译:
柔性标签微实验室的制造过程
作者:
E. Abad
;
B. Mazzolai
;
A. Juarros
;
D. Gomez
;
A. Mondini
;
I. Sayhan
;
A. Krenkow
;
Th. Becker
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
RFID-systems;
flexible substrate technologies;
MOX sensors;
ACA flip chip;
COF bonding;
23.
Microfluidic chamber with acoustic actuation by LiNbO_3 interdigital transducers for tumor cell investigations
机译:
LiNbO_3叉指换能器具有声驱动的微流体腔,用于肿瘤细胞研究
作者:
Matthias Gruber
;
Richard Heming
;
Eva-Maria Schnaeker
;
Thomas Seiler
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
interdigital transducer;
surface acoustic wave;
microfluidics;
melanoma cell;
24.
Modelling and Simulation of a Micromachined Angular Rate Sensor with Optimised Mechanical Suspension
机译:
具有优化机械悬架的微机械角速率传感器的建模与仿真
作者:
A. Kulygin
;
M. Gergen
;
U. Schmid
;
H. Seidel
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
gyroscope;
inertial sensor;
analytical model;
hill climbing algorithm;
optimization;
angular rate;
25.
Fabrication and characterization of a passive silicon-based direct methanol fuel cell
机译:
被动硅基直接甲醇燃料电池的制备与表征
作者:
J. P. Esquivel
;
N. Sabate
;
J. Santander
;
N. Torres
;
C. Cane
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
power MEMS;
silicon DMFC;
microfuel cell;
passive;
26.
Design and implementation of mechanical resonators for optimized inertial electromagnetic microgenerators
机译:
优化惯性电磁微型发电机机械谐振器的设计与实现
作者:
C. Serre
;
A. Perez-Rodriguez
;
N. Fondevilla
;
E. Martincic
;
J.R. Morante
;
J. Montserrat
;
J. Esteve
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
power microgenerator;
vibrational energy scavenging;
electromagnetic generator;
27.
A COMPACT OPTICAL ETHYLENE MONITORING SYSTEM
机译:
紧凑型乙烯监测系统
作者:
J. Woellenstein
;
S. Hartwig
;
J. Hildenbrand
;
Andre Eberhardt
;
M. Moreno
;
J. Santander
;
R. Rubio
;
J. Fonollosa
;
L. Fonseca
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
IR-spectroscopy;
fruit storage;
ethylene;
multiple reflection cell;
white-cell;
fresnel lens;
28.
Thermo-activated nano-material for use in optical devices
机译:
用于光学设备的热活化纳米材料
作者:
Solon Mias
;
Jan Sudor
;
Henri Camon
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
关键词:
optical switching;
thermal activation;
PNIPAM;
29.
Ferromagnetic 3-D Impellor-Shaped Micro-Stirrer Bar for Micromixing
机译:
用于微混合的铁磁3-D叶轮形微搅拌棒
作者:
Arun K. Nallani
;
Jeong-Bong Lee
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
|
2007年
30.
Development of MEMS-based liquid chromatography modules for agrofood applications
机译:
基于MEMS的农用食品液相色谱模块的开发
作者:
Antonella Benvenuto
;
Leandro Lorenzelli
;
Cristian Collini
;
Vittorio Guarnieri
;
Andrea Adami
;
Elisa Morganti
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
microsystems;
voltammetric sensors;
microfluidics;
liquid chromatography;
agrofood applications;
31.
Feedback loops with electrically-driven microcantilevers
机译:
带电动微悬臂的反馈回路
作者:
Javier Malo
;
Jose-Ignacio Izpura
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
feedback;
microcantilever;
resonance frequency shift;
Q-enhancement;
thermal noise;
32.
Dye based light sensor for tag integration
机译:
基于染料的光传感器,用于标签集成
作者:
I. Sayhan
;
B. Hoetzer
;
J. Woellenstein
;
E. Rose
;
Th. Becker
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
RFDD;
light sensor;
polymers;
smart system integration;
solar cells;
Ruthenium 535-bis-TBA;
Kapton, PEDOT/PSS;
33.
Ultra-low-power electronics and devices for a multisensing RFID Tag
机译:
用于多传感RFID标签的超低功耗电子设备
作者:
Stefano Zampolli
;
Ivan Elmi
;
Gian Carlo Cardinali
;
Andrea Scorzoni
;
Michele Cicioni
;
Santiago Marco
;
Francisco Palacio
;
Jose M. G6mez-Cama
;
Ilker Sayhan
;
Thomas Becker
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
RFID;
ultra-low-power;
MOX sensors;
logistics;
34.
Presentation of Silicon Platforms for Wireless Advanced Networks of Sensors for aeronautics application
机译:
航空应用传感器无线高级网络的硅平台介绍
作者:
K.MOREAU
;
C. RUBY
;
S. ROLET
;
B. PETITJEAN
;
V. ROUET
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
structural monitoring;
data processing;
algorithms;
embedded electronics;
smart sensors;
wireless;
network;
reliability;
35.
Research in Micro-Nano-technology and systems: a European perspective. Opportunities in Framework Programme 7: 2007-2013
机译:
微观纳米技术和系统的研究:欧洲的观点。框架计划7:2007-2013年的机会
作者:
I. Vergara
;
G. Van Caenegem
;
F. Ibanez
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
microsystems;
smart systems;
european framework programme;
36.
The Nano Revolution: Bottom-up Manufacturing with Biomolecules
机译:
纳米革命:生物分子的自下而上制造
作者:
Yi-Fen Li
;
Jing Li
;
Chad Paavola
;
Hiromi Kagawa
;
Suzanne L. Chan
;
Jonathan D. Trent
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
nanotechnology;
biomolecule;
chaperonin;
self-assembly;
nanowire;
37.
Low Power, Low Latency MAC Protocol for Aeronautical Applications
机译:
航空应用的低功耗,低延迟MAC协议
作者:
Jordi Sabater
;
Martin Kluge
;
Sergio Bovelli
;
Josef Schalk
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
autonomous wireless sensor;
MAC;
low power;
low duty cycle;
asynchronous networking;
38.
Implementation of hard magnetic thin films on suspended cantilevers for electromagnetic energy harvesters
机译:
在悬挂式悬臂上为电磁能量收集器实现硬磁薄膜
作者:
E. Makarona
;
T. Speliotis
;
A. Darsinou
;
C. Tsamis
;
S. Chatzandroulis
;
D. Niarchos
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
energy harvesting;
microgenerators;
hard magnetic thin films;
cantilevers;
SmCo;
vibration;
39.
Oxygen measurements at high pressures using a low cost, polarization stabilized, widely tunable vertical-cavity surface-emitting laser
机译:
使用低成本,偏振稳定,可调范围广的垂直腔面发射激光器在高压下进行氧气测量
作者:
Benjamin Scherer
;
Juergen Woellenstein
;
Matthias Weidemueller
;
Wenzel Salzmann
;
Johannes Michael Ostermann
;
Fernando Rinaldi
;
Rainer Michalzik
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
40.
LTCC-A Fascinating Technology Platform for Miniaturized Devices
机译:
面向小型设备的LTCC-A引人入胜的技术平台
作者:
U. Schmid
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
low temperature co-fired ceramics;
multilayer technology;
thin film technology;
molybdenum metallization;
paramagnetic oxygen sensor;
injection quantity sensor;
41.
Application of PZT thick-films on adjusting purposes in micro-optical systems
机译:
PZT厚膜在微光学系统调节中的应用
作者:
C. Bruchmann
;
B. Hoefer
;
P. Schreiber
;
R. Eberhardt
;
W. Buss
;
T. Peschel
;
S. Gebhardt
;
A. Tuennermann
;
E. Beckert
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
PZT;
positioning;
fiber coupling;
monolithic;
MOEMS;
MEMS;
42.
Two-dimensional MEMS array for maskless lithography and wavefront modulation
机译:
用于无掩模光刻和波前调制的二维MEMS阵列
作者:
D. Lopez
;
V. A. Aksyuk
;
G. P. Watson
;
W. M. Mansfield
;
R. Cirelli
;
F. Klemens
;
F. Pardo
;
E. Ferry
;
J. Miner
;
T. W. Sorsch
;
M. Peabody
;
J. Bower
;
M. Peabody
;
C. S. Pai
;
J. Gates
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
optical MEMS;
maskless lithography;
spatial light modulators;
43.
A domotic application for educational tasks
机译:
用于教育任务的domotic应用程序
作者:
S. Alayon
;
C. Gonzalez
;
Y. Vargas
;
L. Hernandez
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
domotics;
sensors;
actuators;
PLC;
44.
RFID Reader with gas sensing capability for monitoring fruit along the logistic chain: array development and signal processing
机译:
具有气体感应功能的RFID阅读器可监控物流链中的水果:阵列开发和信号处理
作者:
Eduard Llobet
;
Alexander Vergara
;
Jose Luis Ramirez
;
Stefano Zampolli
;
Thomas Becker
;
Luis Fonseca
会议名称:
《》
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2007年
关键词:
RFID;
metal oxide gas sensors;
temperature modulation;
feature extraction;
signal processing;
45.
Design and development of a microheater on GaAs for MEMS gas sensor array
机译:
基于GaAs的MEMS气体传感器阵列微加热器的设计与开发
作者:
Ivan Hotovy
;
Vlastimil Rehacek
;
Tibor Lalinsky
;
Stefan Hascik
;
Fedor Mika
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
microheater;
GaAs suspended structure;
MEMS gas sensor;
46.
Gamma radiation and ozone sensing properties of In_2O_3:ZnO:SnO_2 thin films
机译:
In_2O_3:ZnO:SnO_2薄膜的伽马辐射和臭氧感测特性
作者:
K. Arshak
;
O. Korostynska
;
G. Hickey
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
thin films;
In_2O_3;
ZnO and SnO_2 oxide mixtures;
γ-rays;
ozone;
optical and electrical properties;
radiation and ozone real-time monitoring;
47.
Mixed metal oxide films as pH sensing materials
机译:
混合金属氧化物薄膜作为pH传感材料
作者:
Khalil Arshak
;
Edric Gill
;
Olga Korostynska
;
Arousian Arshak
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
mixed metal oxides;
films;
electrical properties;
pH sensor;
48.
Development of Automated Microrobot-based Nanohandling Stations for Nanocharacterization
机译:
基于自动化的基于微型机器人的纳米处理站的开发
作者:
Sergej Fatikow
;
Volkmar Eichhorn
;
Florian Krohs
;
Iulian Mircea
;
Christian Stolle
;
Saskia Hagemann
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
nanocharacterization;
nanohandling control;
carbon nanotubes;
cell characterization;
nanoindentation;
49.
Design of all-plastic distributed pressure sensors based on electroactive materials
机译:
基于电活性材料的全塑料分布式压力传感器设计
作者:
Estibalitz Ochoteco
;
Jose A. Pomposo
;
Haritz Macicior
;
Miguel A. Arregui
;
Fernando Martinez
;
Gregorio Obieta
;
Hans Grande
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
conducting polymers;
flexible pressure sensors;
all-plastic devices;
high surface applications;
50.
Plasma activated wafer bonding: the new low temperature tool for MEMS fabrication
机译:
等离子活化晶圆键合:用于MEMS制造的新型低温工具
作者:
V. Dragoi
;
G. Mittendorfer
;
C. Thanner
;
P. Lindner
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
plasma activated wafer bonding;
low temperature;
materials integration;
51.
Nanofabrication of TiO_2 nanowires: I-V characteristic and improvement of metal oxides gas sensing properties
机译:
TiO_2纳米线的纳米加工:IV特性和金属氧化物气敏性能的改善
作者:
L. Francioso
;
A. Forleo
;
A.M. Taurino
;
P. Siciliano
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
metal oxide nanowires;
TiO_2;
nanometric patterning;
response enhancement;
52.
Bismuth film electrodes for heavy metals determination
机译:
铋膜电极用于重金属的测定
作者:
Vlastimil Rehacek
;
Ivan Hotovy
;
Marian Vojs
;
Fedor Mika
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
anodic stripping voltammetry;
diamond-like carbon;
microelectrode array;
bismuth film electrode;
53.
A Metal-to-Metal Contact RF MEMS Switch Towards Handsets Applications
机译:
面向手机应用的金属对金属接触RF MEMS开关
作者:
Tauno Vaehae-Heikkilae
;
Pekka Rantakari
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
RF MEMS;
MEMS;
switch;
relay;
54.
Detection of unburned fuel as contaminant in engine oil by a gas microsensor array
机译:
气体微传感器阵列检测未燃烧燃料作为发动机油中的污染物
作者:
Simonetta Capone
;
Marzia Zuppa
;
Dominique S. Presicce
;
Mauro Epifani
;
Luca Francioso
;
Pietro Siciliano
;
C. Distante
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
contamination by fuel;
engine oil;
gas microsensor;
55.
COUPLING COEFFICIENT DETERMINATION BASED ON SIMULATION AND EXPERIMENT FOR ST-CUT QUARTZ SAW DELAY-LINE RESPONSE
机译:
基于模拟和实验的ST切割石英锯齿迟滞线响应耦合系数确定
作者:
Yi-Chu Hsu
;
Ngoc-Bich Le
;
Ling-Sheng Jang
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
coupling coefficient;
ST-Cut quartz;
SAW delay-line;
simulation;
56.
Investigations on the Passivation of Thin Film Flow Sensors on Flexible Substrates
机译:
柔性基板上薄膜流量传感器钝化的研究
作者:
U. Schmid
;
A. Ababneh
;
H. Seidel
;
R. Wagner
;
K. Bauer
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
flexible substrate;
polyimide;
passivation layer;
aluminium oxide;
aluminium nitride;
57.
Resonance frequencies and modal shape characterization of piezoelectric microcantilevers
机译:
压电微悬臂梁的共振频率和模态形状表征
作者:
P. Sanz-Gonzalez
;
J. Hernando. J. Vazquez
;
J. L. Sanchez-Rojas
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
impedance;
vibrometer;
piezoelectric;
cantilever;
58.
VHDL Implementation of a communication interface for integrated MEMS
机译:
VHDL实现集成MEMS的通信接口
作者:
E. Magdaleno Castello
;
M. Rodriguez Valido
;
A. J. Ayala Alfonso
会议名称:
《Smart Sensors, Actuators, and MEMS III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6589》
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2007年
关键词:
VHDL;
FPGA;
communication protocol;
distributed architecture;
smart sensors;
MEMS;
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