动力传送机构及使用其的等离子体辅助化学气相沉积装置

摘要

本发明一种动力传送机构，其是利用具有气密与伸缩特性的组件与动力单元相结合，以产生特定方向的位移运动。此外，本发明更提供一种等离子体辅助化学气相沉积装置，其是利用该动力传送机构作为控制待加工件移动的机构，使得该等离子体辅助化学气相沉积装置可与自动化传送装置相结合以使得芯片进出自动化。此外，本发明在该等离子体辅助化学气相沉积装置上更设置有升降调整单元以及位置标示单元，以供操作者可以依制作工艺需要调整上、下电极的间距，并让机台操作人员在腔体外部能清楚掌控腔体内上、下电极的间距。