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陈新; 胡征; 王喜章; 陈懿; 杨绍光; 都有为;
中国电子学会;
等离子体; 化学气相况积; 碳纳米管; 碳纳米管阵列; 微波等离子体;
机译:微波等离子体增强热化学气相沉积法再生碳纳米管阵列
机译:由垂直排列的碳纳米管阵列生产的纳米级同轴电缆,该碳纳米管阵列通过化学气相沉积法生长,并通过离子辅助沉积法涂有氧化铟锡
机译:使用微波等离子体化学气相沉积硼掺杂的单晶金刚石生长。使用微波等离子体化学气相沉积
机译:微波等离子体化学反应在低温下模板定向合成碳纳米管阵列
机译:在中等压力下在微波等离子体辅助化学气相沉积反应器中对氢基等离子体进行建模。
机译:微波等离子体化学气相沉积法在镍箔上低温合成石墨烯
机译:低温下类二氧化硅薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化低温下类石英薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积沉积的化学气相沉积在高温下的高温等离子体生长高同质金刚石薄膜沉积
机译:微波等离子体辅助化学气相沉积反应器的方法和装置
机译:用于微波等离子体辅助化学气相沉积反应器的方法和设备
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