用于形成精细图形的材料和使用该材料形成精细图形的方法

摘要

本发明提供了一种精细图形形成材料，含有水溶性树脂，水溶性交联剂，和水或由水和水溶性有机溶剂的混合液组成的溶剂，其特征在于其包含胺化合物；还提供了一种使用该材料的精细图形形成方法。该胺化合物为伯胺化合物或季胺化合物，该伯胺化合物包括肼，脲，氨基酸，葡糖胺衍生物和聚烯丙基胺衍生物，该季胺化合物包括二甲基铵盐，三甲基铵盐，四甲基铵盐，二甲基乙基苄基铵盐和N-甲基吡啶鎓盐。在实际的使用图形形成材料使抗蚀图形精细化的方法中，在仅使用水进行显影的时候，上述材料允许形成图形缺陷减少了的固化涂层图形。