一种使物体在离子渗入时不同表面形成不同渗层的方法及装置

摘要

本发明涉及一种使物体在离子渗入时不同表面形成不同渗层的方法及装置。该方法包括下列步骤：首先将欲渗物油、套管(2)及绝缘体(4)放入金属隔离屏(1)内，然后将阳极(3)及阴阳极绝缘体(7)置于油、套管(2)内，最后将金属隔离屏(1)放置于真空炉(6)内；油、套管(2)连接电源的阴极，阳极(3)连接电源的阳极，金属隔离屏(1)与阳极(3)之间连接有开关(5)，设定参数封闭真空炉抽真空通入离子渗入介质进行离子渗入，打开开关(5)对油、套管(2)的外表面进行离子渗入。该方法入装置在物体不同表面形成不同深度、成分的渗层，金属隔离屏可作为用于离子渗入的真空容器简化了设备。