光掩模和采用该光掩模的薄膜晶体管阵列面板的制造方法

摘要

本发明公开了一种光掩模。该掩模包括：透光区域和半透明区域，其中，半透明区域包括多个阻挡光的阻光部分，其中，阻光部分具有阻挡不同量的光的多个区域。通过使用这种类型的光掩模，光阻剂膜的基本上平坦的层能平坦地沉积在不平坦表面的顶部上。平坦的光阻剂膜降低了工艺成本并且提高了面板制造过程的可靠性。