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公开/公告号CN1018771B
专利类型发明专利
公开/公告日1992-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN89109318.4
发明设计人 张志强;金宁;马喜腾;曹起骧;
申请日1989-12-21
分类号G03F7/16;G01L1/24;
代理机构清华大学专利事务所;
代理人章瑞溥
地址 北京市海淀区清华园
入库时间 2022-08-23 08:54:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1997-02-05
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-16
授权
1992-10-21
审定
1990-06-20
公开
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