微纳仿生矢量水声传感器的封装结构

摘要

本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。通过封装结构进一步提高和完善了矢量水声传感器的性能指标，该封装结构包括用于固定微纳仿生矢量水声传感器的支持体、罩于微纳仿生矢量水声传感器外并与支持体密封固定的封装壳体，封装壳体内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽。根据仿生学原理设计，结构合理，在保护水声传感器微结构的同时，不会影响和妨碍水声传感器微结构对声信号的检测，达到了进一步提高和完善矢量水声传感器性能指标的目的。