一种偏振光瞳器件及其在投影光刻系统中的应用

摘要

一种偏振光瞳器件，由石英基板和石英基板上的偏振膜层组成，偏振膜分成了若干个扇形区域，每个扇形区域上的偏振膜层都形成一个线偏振器，线偏振器的偏振方向在光瞳径向的切线方向；偏振光瞳器件在高数值孔径投影光刻系统的应用，包括椭球镜、光源、高能量高均匀照明部件、掩模板、投影光刻物镜及硅片，在投影光刻物镜的光瞳面上放置对成像光束进行偏振控制的偏振光瞳器件，将改变投影光刻系统的光瞳函数，以及整个投影光刻光学系统的传递函数，把高数值孔径的光刻成像调制成TE偏振成像，提高了光刻成像对比度，从而进一步挖掘短波长高数值孔径投影光刻系统的光刻分辨力。