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用模拟退火法优化设计投影光刻成像光瞳滤波器

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为进一步提高投影成像系统的光刻分辨率和焦深,研究利用模拟退火算法设计和优化光瞳滤波器.文中给出光瞳滤波器算法数理模型,利用模拟退火法制定设计原则,给出算法实现过程,用VC++和Matlab混合编程,并进行计算分析,求解和制作最佳滤波器.分析计算和模拟结果表明,用模拟退火法设计优化投影成像光刻光瞳滤波最优滤波器方法可行.

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来源
《第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2001年|189-192|共4页
会议地点成都
作者
康西巧; 陈旭南; 石建平; 罗先刚;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类滤波技术、滤波器;光刻、掩膜;
关键词
模拟退火算法; 投影成像光刻; 光瞳滤波; 优化滤波器;

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