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晶圆级封装对象及其形成的方法

摘要

本申请提供晶圆级封装对象及其形成的方法。在形成晶圆级封装对象的方法中,将小尺寸的单个芯片、含有两个以上芯片的晶圆部件或经过一道以上封装步骤形成的芯片封装半成品重组在一个衬底上;或者用整个晶圆切割而形成的具有至少两个芯片的晶圆部件与粘合用基底进行粘合,用以形成晶圆级封装对象,使得较大尺寸的晶圆可以在较小尺寸的晶圆级封装设备上进行晶圆级封装,延长了晶圆级封装设备的使用寿命,降低了成本,并且能使企业在不进行大量更新设备的情况下,能跟上市场的发展和晶圆不断增大的趋势。

著录项

  • 公开/公告号CN100595897C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2010-03-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 晶方半导体科技(苏州)有限公司;

    申请/专利号CN200810041985.7

  • 申请日2008-08-20

  • 分类号H01L21/58(20060101);H01L21/50(20060101);B81C3/00(20060101);

  • 代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人李丽

  • 地址 215126 江苏省苏州市苏州工业园区星龙街428号苏春工业坊11B/C

  • 入库时间 2022-08-23 09:04:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-11-03

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/58 变更前: 变更后: 申请日:20080820

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-03-24

    授权

    授权

  • 2009-03-11

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-01-21

    公开

    公开

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