一种垂直扫描测量白光干涉测头

摘要

本发明公开了一种垂直扫描测量白光干涉测头，包括白光显微干涉装置、垂直运动装置、双光栅位移计量装置、图像采集系统、信号处理系统和计算机控制系统；白光显微干涉装置包括照明光路、显微干涉组件和CCD图像拾取组件，垂直运动装置包括垂直运动组件，其内平台带动Mirau干涉显微镜对被测工件进行垂直扫描，同时内平台带动双光栅位移计量装置的动光栅移动，经静光栅发生二次衍射并产生干涉条纹，光电接收器接受干涉条纹，经信号处理电路处理后得到垂直运动组件的内平台实时位移。计算机处理系统通过处理垂直扫描过程中的白光干涉图像和垂直运动组件的内平台的位移，可得到被测表面的三维形貌。本发明具有结构紧凑、测量精度高等特点。