White light interferometry; Large step structure; Adaptive scanning; Nano-measuring machine (NMM); Auto- focusing mode;
机译:使用扫描白光干涉法测量拉伸载荷下微米级结构的应变
机译:白光扫描干涉法中基于窗口傅里叶变换的微轮廓测量
机译:在白光扫描干涉法中使用更高阶的相移算法和线性最小二乘拟合
机译:基于自适应扫描的白光干涉测量,通过使用白光干涉测量大的步骤结构测量
机译:多轴,结构光,三维激光扫描系统:建模,校准和测量不确定度评估
机译:使用扫描白光干扰测量法进行表面官能化微机械微电子的步进高度测量
机译:白光扫描干涉法中基于高阶相移算法的中心波长测量