适用于低速气体测量的微机械硅谐振式气体流速传感器

摘要

本发明一种适用于低速气体测量的微机械硅谐振式气体流速传感器，涉及气体流速检测技术，是基于微电子机械技术(MEMS)加工而成，由Pyrex7740#玻璃基片，双端固支式音叉谐振子、低应力薄膜、微型杆杠结构、锚点、及电极引线组成。当气体流过时，低应力薄膜感应气体的流动而发生形变，微型杠杆结构将这种形变转化为应力作用在双端固支式音叉谐振子上，通过检测其固有频率的变化，实现对气体流速的测量。本发明采用独特的含有低应力薄膜、微型杠杆结构和双端固支式音叉谐振子的结构，制作简单，并有效提高气体流速检测的灵敏度，具有较好的抗干扰能力。