制备晶面择优取向氧化铟锡-氧化铟锌薄膜热电偶的方法

摘要

本发明涉及制备晶面择优取向氧化铟锡‑氧化铟锌薄膜热电偶的方法，所述金属表面为曲面，包括步骤1、通过物理气相沉积工艺在金属工件表面沉积钇稳定的氧化锆YSZ结合涂层，将钇稳定的氧化锆YSZ粉末和Al2O3粉末通过物理气相沉积工艺沉积到金属工件表面；步骤2、通过磁控溅射工艺在结合涂层上制备晶面择优取向的薄膜热电偶，所述薄膜热电偶包括两个热电臂和两个电极；步骤3、具有所述薄膜热电偶的金属工件进行热处理，以释放材料界面之间的应力；步骤4、通过磁控溅射工艺在结合涂层上制备保护层，所述保护层为Al2O3材质覆盖所述的两个热电臂。本发明实现在金属表面快速沉积具有择优晶面取向的薄膜热电偶，对薄膜热电偶的稳定测温具有重要意义。