控制MOCVD淀积PZT的先驱体溶液配制方法

摘要

控制MOCVD淀积PZT的先驱体溶液配制方法属于PZT薄膜制备技术领域，具体特征在于，以溶质摩尔浓度为0.14mol/L，四氢呋喃30ml，四-乙二醇二甲醚4ml，Pb为27%，Zr为55%，Ti为18%，制成总溶剂体积为0.034L的特定组分PZT的先驱体溶液。用此溶液制备的Pb_0.5(Zr_0.4Ti_0.6)_0.5O₃组分PZT薄膜，衬底为1～8英寸，均匀性大于95%，厚度为1500埃。