仿耳蜗螺旋形振动膜的压电MEMS扬声器及制备方法

摘要

本发明提供一种仿耳蜗螺旋形振动膜结构的压电MEMS扬声器及其制备方法，包括：基底，基底的底部设有背部腔，背部腔的腔室呈仿耳蜗螺旋形；第一电极设置于基底的上表面，且第一电极与背部腔的腔室间隔致动层；压电层设置于第一电极的上表面；第二电极设置于压电层上；由致动层、第一电极、压电层及第二电极构成仿耳蜗螺旋形振动膜，且仿耳蜗螺旋形振动膜与背部腔的位置上下对应且形状相匹配。本发明实现了在一个仿耳蜗螺旋形腔室结构上，有多个共振频率覆盖在20Hz‑20000Hz之间的高声压级压电MEMS扬声器；仿耳蜗螺旋形振动膜完全覆盖了人耳能够听到的音频范围，能达到足够满足商业应用的声压级，可用于手机扬声器，耳机，助听器等可穿戴电子设备。