公开/公告号CN111381307B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州江泓电子科技有限公司;
申请/专利号CN202010399412.2
申请日2020-05-12
分类号G02B5/30(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/18(20060101);C23C14/06(20060101);
代理机构11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张铁兰
地址 215400 江苏省苏州市太仓市浏河镇紫薇路1号
入库时间 2022-08-23 13:09:00
机译: 多层膜折射镜,用于软X射线真空紫外线
机译: 多层膜折射器,用于x射线真空紫外线
机译: 多层膜折射镜,用于x射线真空紫外线