多層膜を利用した真空紫外域の偏光素子開発

摘要

良く知られた電磁波の種類には光子エネルギーの低いほうから電波，赤外線，可視光，紫外線，X線，γ線がある。物体の影に回り込みやすい性質，物体を透過しやすい性質など，それぞれのエネルギー領域ごとに特長があり，身の回りの生活に役立っている。一方，研究室や宇宙環境でしか扱えないエネルギー領域がある。それは紫外線の中でも高エネルギー領域の真空紫外線（Vacuum Ultraviolet，VUV）とX線の中でも低エネルギー領域の軟X線である。ともに物質に強く吸収を受ける電磁波であり，1気圧の空気中では100μmの距離で減衰する。mオーダーの距離を伝搬する環境は真空中しかなく，取扱いが容易とは言い難い。しかし，物質との相互作用が強いということはプローブとして強力であることを意味し，物性や原子·分子の基礎科学において研究手段に用いられでいる。VUVと軟X線の境界は明確に定められていない。ここでは，具体的に偏光素子の例を紹介する20eVから400eVまでの領域をすべてVUVと呼ぶことにする。