用于月基极紫外(EUV)多层膜样片反射率测量的小型真空试验台

摘要

用于探月二期工程的极紫外相机采用多层膜反射镜作为光学元件,多层膜反射镜整镜镀膜之前需进行样片镀膜并检测从而完善并确定镀膜工艺。本文介绍了搭建的一台样片反射率测量的小型真空试验台。该试验台由激光等离子体(LPP)光源系统、Mcpherson247单色仪、真空样品室探测系统、数据采集及处理系统组成。工作波段为1～120nm,光谱辐射稳定性好于±1%/h,角分辨率误差为0.015°。用本实验台对多层膜样片进行不同波长反射率测量,测量入射角一定时对不同波长的反射率曲线,根据测量结果完善多层膜镀膜工艺。