真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究

摘要

研究了铝+氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性.理论上数值模拟计算了铝+氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量,分析了铝+氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律,在此基础上研究了铝+氟化镁膜的偏振特性,并与单层铝膜的相应特性作了比较.以氟化锂堆作偏振器,在Seya-Namioka真空紫外反射率计上实验研究了铝+氟化镁膜的偏振特性.研究结果表明,铝+氟化镁膜的偏振特性由于受到氟化镁厚度的调制,存在反射率的垂直分量小于平行分量的情形,从而使铝+氟化镁膜的消光比在非正入射的条件下接近1.理论计算结果与实验结果一致.