改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法

摘要

本发明公开了一种改善化学机械研磨终点检测及检测前道工艺的方法，设定正确的检知时间范围，一旦检知时间超过设定范围，即时间小于设定的下限或大于等于设定的上限，机台报警并停止研磨，进行检测处理。本发明能够实时检测到产品的终点，及时发现前道非正常工艺以及机台终点检测硬件(设备)异常的问题，减少异常产品的产生。本发明不仅可以适用于利用光学原理的终点检测方法，还可以适用于温度变化原理，电流强度变化原理的终点检测方法。