一种MEMS加速度计及其形成方法

摘要

本发明涉及一种MEMS加速度计及其形成方法，所述MEMS加速度计包括：衬底；检验质量块弹性连接于衬底上，包括呈上下设置的第一检验质量层以及第二检验质量层，第一检验质量层侧面形成第一移动梳齿，第二检验质量层位于第一检验质量层和衬底之间，且侧面形成有与第一移动梳齿交错设置的第二移动梳齿；顶部固定梳设置于第一检验质量层的侧面，沿着垂直于所在侧对应第一检验质量层边长的方向延伸，与第一移动梳齿相互交叉形成叉指结构；底部固定梳设置于第二检验质量层侧面，沿着垂直于所在侧对应第二检验质量层边长的方向延伸，与第二移动梳齿交叉形成叉指结构。本发明技术方案结构简单，仅需一个衬底即可实现使用差分电容测量加速度，降低工艺成本。