一种双态循环富集技术的硅片酸性切割方法

摘要

本发明公开了一种双态循环富集技术的硅片酸性切割方法，属于硅片加工技术领域，本方案通过借助改性切割钢绳内的水的双态变化，可以实现改性切割绳从亲水性由疏水性的改变，通过对改性钢丝绳制冷，促使双态循环富集球内的水结冰后借助其体积的膨胀，可以将外球包框外侧的金属外凸片撑起，提高双态循环富集球表面的粗糙程度，一方面可以借助水结冰后的低温特性，可以促使高温的挥发性酸气体和水蒸气易于在钢丝绳主体表面逐渐液化，另一方面借助金属外凸片的撑起，可以提高双态循环富集球表面的亲水性，因此可以提高挥发性酸在双态循环富集球表面的富集量，并减少其滴落的可能性，从而可以提高改性钢丝绳对大块硅片的切割效果。