公开/公告号CN111092126B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大立科技股份有限公司;
申请/专利号CN201911273352.3
申请日2019-12-12
分类号H01L31/0203(20140101);H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);G01J5/10(20060101);
代理机构31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人孙佳胤;董琳
地址 310053 浙江省杭州市滨江区滨康路639号
入库时间 2022-08-23 12:56:31
机译: 基于单壁碳纳米管的双悬臂梁红外探测器及其形成方法
机译: 光学组件,其形成方法和红外探测器
机译: 红外探测器元件及其形成方法