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【2h】

A Novel 3D Encapsulation Structure Based on Subwavelength Structure and Inserted Pyrex Glass for RF MEMS Infrared Detectors

机译：基于亚波长结构的新型3D封装结构，用于RF MEMS红外探测器的插入式Pyrex玻璃

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作者
Jicong Zhao; Mingmin Ge; Chenguang Song; Ling Sun; Haiyan Sun;
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年度 2019
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