用于微波等离子体辅助沉积的模块化反应器

摘要

本发明涉及一种用于制造合成金刚石的微波等离子体辅助沉积模块化反应器(1)，所述反应器的特征在于它包括至少三个调制元件，所述调制元件选自：‑冠部(450)，适于定位在第一外壳部分(430)和第二外壳部分(440)之间；‑基质保持器模块(500)，能够垂直平移和旋转移动，与四分之一波(501)接触并包括至少一个流体冷却系统(520)；‑托盘(900)，能够垂直平移移动，以改变所述谐振腔(41)的形状和体积，并包括允许气体通过的通孔(911)；‑气体分配模块(100)，包括可移除的气体分配板(110)和支撑装置(120)，所述可移除的气体分配板包括内表面(111)、外表面(112)和在所述表面(111,112)之间形成能够传导气体流的通道的多个气体分配喷嘴(113)，所述支撑装置连接到冷却系统并适于容纳所述可移除的气体分配板(110)；和‑基质冷却控制模块(300)，包括可移除的热阻气体注入装置(330)。