一种晶圆切割刀片的外圆修磨工艺

摘要

本发明公开了一种晶圆切割刀片的外圆修磨工艺，具体包括以下步骤：将若干环形刀片同心安装在打磨工装上，相邻两个所述环形刀片之间分隔有保护块；将打磨工装转动安装在机床上，安装时，机床的加工中心线和打磨工装的中心线重合，将转动的打磨工装靠近转动的砂轮，砂轮的转动方向和打磨工装的转动方向相反，砂轮对环形刀片的边缘进行打磨，在所述步骤S3中，采用工业摄像头随时发现环形刀片端面的缺陷，并根据环形刀片的缺陷控制砂轮的进给量以及打磨位置，本发明提高了砂轮对环形刀片打磨位置的精确性。