微波等离子低温合成金刚石膜的方法

摘要

本发明是一种微波等离子低温合成金刚石膜的方法，其步骤包括：向微波等离子合成腔中充入Ar和H₂；在600～750W的微波功率和900～1100Pa的气压下，气体被电离形成等离子体；待等离子体稳定后，向等离子腔中充入CH₄，即可在未增加外加磁场的情况下实现金刚石纳米膜的沉积。本发明提供的微波等离子低温合成金刚石膜的方法，具有工艺简单、容易实施、沉积速率快等优点。