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具有导电层的衬底的制造方法和半导体器件的制造方法

摘要

本发明提供一种具有导电层的衬底的制造方法,包括以下步骤:在衬底上形成无机绝缘层;在所述无机绝缘层上形成具有期望形状的有机树脂层;在所述无机绝缘层的第1暴露区域上形成对含有导电颗粒的混合物的低可湿性层;去除所述有机树脂层;用所述含有导电颗粒的混合物涂覆所述无机绝缘层的第2暴露区域并烘焙,从而形成导电层。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-05-20

    授权

    授权

  • 2008-01-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-08-09

    公开

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