具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法

摘要

本公开涉及具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法。描述微机电系统(MEMS)设备。MEMS设备可包括惯性传感器和能量采集器，其配置为将机械振动能转换成电能。所收集的能量可用于为电子电路供电，例如用于感测来自惯性传感器的加速度的电路。惯性传感器和能量采集器可以设置在同一基板上，并且可以共享相同的检测质量块。能量采集器可包括设置在柔性结构上的压电材料层。当柔性结构响应于振动而弯曲时，压电材料层中产生应力，这导致电的产生。惯性传感器的例子包括加速度计和陀螺仪。