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机译:合金化对微电子和MEMS / NEMS应用中贵金属薄膜力学性能的影响
机译:低力下MEMS和NEMS DC开关中接触电阻的不稳定性:外来膜在接触表面上的作用
机译:微电子系统微电路物理学述评(MEMS)金属触点开关
机译:具有金属合金电触点的静电射频(RF)微机电系统(mEms)开关