公开/公告号CN109037136B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新昇半导体科技有限公司;
申请/专利号CN201710439022.1
申请日2017-06-12
分类号H01L21/687(20060101);C30B25/12(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人余昌昊
地址 201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号
入库时间 2022-08-23 12:40:37
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