支撑台、改善晶圆或外延生长晶圆表面的顶针痕迹的方法

摘要

本发明提供一种支撑台、改善晶圆或外延生长晶圆表面的顶针痕迹的方法，所述支撑台包括基座、顶针和涂层，所述基座设有多个开孔，所述顶针的数量与所述开孔的数量相同，所述顶针对应设置在所述开孔中用于支撑晶圆，所述涂层涂覆于所述开孔中。本发明提供的支撑台、改善晶圆或外延生长晶圆表面的顶针痕迹的方法，所述支撑台包括基座和顶针，由所述基座的开孔中的顶针来支撑晶圆，由于所述开孔中具有涂层，可减少顶针与开孔之间的间隙，改善由于工艺气体经由开孔形成的顶针痕迹，使得晶圆表面的顶针痕迹的高度减小，从而可降低顶针痕迹对产品质量的影响。