用于解耦合光致抗蚀剂的扩散和溶解性切换机制的手段

摘要

本发明的实施例包括光致抗蚀剂材料和图案化光致抗蚀剂材料的方法。在实施例中，光致抗蚀剂材料包括多个分子玻璃（MG）。在实施例中，光致抗蚀剂材料的玻璃转变温度Tg小于对来自MG的阻断基团去阻断所需的活化温度。实施例包括图案化光致抗蚀剂材料的方法，所述方法包括利用紫外辐射来曝光光致抗蚀剂材料。所述方法还可以包括：在第一温度处执行第一曝光后烘焙，其中所述第一温度小于对来自MG的阻断基团去阻断所需的活化温度，以及在第二温度处执行第二曝光后烘焙，所述第二温度大约等于或大于对来自MG的阻断基团去阻断所需的活化温度。