公开/公告号CN107533288A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201580079314.8
申请日2015-05-28
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李雪娜
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 04:12:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20150528
实质审查的生效
2018-01-02
公开
公开
机译: 分离光致抗蚀剂的扩散和溶解度转换机制的手段
机译: 减少光致抗蚀剂扩散和溶解度转换机制的手段
机译: 减少光致抗蚀剂扩散和溶解度转换机制的手段