双电容式微机械可调谐垂直腔面发射激光器及制备方法

摘要

一种双电容式微机械可调谐垂直腔面发射激光器及制备方法属于半导体光电子器件领域。该激光器从上至下包括：调谐电极(1)、绝缘介质薄膜(70)、上分布反馈布拉格反射镜(20)、中空牺牲层(40)，中空部分是空气隙层(30)、注入电极(3)、欧姆接触层(2)、中分布反馈布拉格反射镜(90)、氧化限制层(4)、有源区层(5)、下分布反馈布拉格反射镜(50)、衬底(6)和欧姆接触电极(7)，所述的绝缘介质薄膜(70)与上分布反馈布拉格反射镜(20)、中空牺牲层(40)构成双电容结构，所述的上分布反馈布拉格反射镜(20)和中分布反馈布拉格反射镜(90)为掺杂p⁺型，下分布反馈布拉格反射镜(50)为n⁺型。本发明有效提高了器件波长调谐范围。