一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU-8模具的制造方法

摘要

本发明公开了一种空心倾斜金属微针阵列及其基于SU‑8模具的制造方法，属于微纳制造工艺领域。该微针阵列，金属材料为可电镀金属，空心倾斜金属微针呈斜圆锥状，倾斜角度为50°～70°；垂直高度为500μm～650μm；空心倾斜金属微针底部到尖端为等壁厚结构，壁厚为8μm～10μm；空心倾斜金属微针底部外径为150μm～250μm；空心倾斜金属微针锥角为10°～15°，空心倾斜金属微针顶部带有尖端。本发明将SU‑8模具掩膜图形转移到玻璃片上，避免了传统接触式曝光存在气隙的问题，提高到达各层光刻胶的紫外线光强，微针模具与基底结合力更强。充分利用OmniCoat，提高了SU‑8模具与玻璃片的粘附性，同时工艺后期更容易去除SU‑8模具。倾斜圆台微针经过RIE刻蚀获得尖端，实现了金属微针尖端结构。