公开/公告号CN109433064B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 广东锐涂精细化工有限公司;
申请/专利号CN201811113790.9
发明设计人 崔云华;
申请日2018-09-25
分类号B01F7/24(20060101);B01F7/26(20060101);B01F7/16(20060101);B01F13/02(20060101);C09D161/32(20060101);C09D7/61(20180101);
代理机构11724 北京成实知识产权代理有限公司;
代理人陈永虔
地址 513059 广东省清远市英德市东华镇清远华侨工业园精细化工基地
入库时间 2022-08-23 12:11:13
机译: 半导体工厂自动化(PA)系统中使用的用于重置工艺配方的设备具有重置块,如果工艺配方不一致,则该重置块响应于操作员输入的重置命令来重置工艺配方。
机译: 工艺配方评估方法,存储介质,用于工艺配方评估的辅助装置以及液体处理设备
机译: 工艺配方评估方法,存储介质,用于工艺配方评估的辅助设备以及液体处理装置