溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法

摘要

溅射靶材(2)由纯度为99.999质量％以上的铝和不可避免的杂质构成。在将板表面(21)的平均晶粒直径设为D_s[μm]，将板厚的1/4的深度(22)处的平均晶粒直径设为D_q[μm]，并将板厚的1/2的深度(23)处的平均晶粒直径设为D_c[μm]时，满足下述式，并且平均晶粒直径在板厚方向上连续地变化，D_s≤230D_q≤280D_c≤3001.2≤D_q/D_s1.3≤D_c/D_s。