三菱マテリアル、中国最大のスパッタリングターゲットメーカ－の寧波江豊電子材斜にCMP設備供与

摘要

三菱マテリアルは、中国最大手の半導体用スパッ列ングターゲット材メーカーの、「寧波江豊電子材料」（KFMI、本社＝漸江省余眺市、桃力軍董事長）と化学的研磨（CMP）生産設備とその関連技術を供与する契約を締結した。CMP装置はシリコンウエハーなどの平坦性を実現するために、化学的機械的に研磨する装置。同社は今回の導入に装って、スパッ列ングターゲットから半導体加工分野にも展開することになった。KFMIは、今回の設備導入に2億5000万元を投じ、年間10憶元の売上げを目指している。