法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/28 授权公告日:20090114 终止日期:20181111 申请日:20041111
专利权的终止
2017-11-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/28 登记生效日:20171103 变更前: 变更后: 申请日:20041111
专利申请权、专利权的转移
2017-11-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/28 登记生效日:20171103 变更前: 变更后: 申请日:20041111
专利申请权、专利权的转移
2017-11-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/28 登记生效日:20171103 变更前: 变更后: 申请日:20041111
专利申请权、专利权的转移
2017-11-24
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/28 登记生效日:20171103 变更前: 变更后: 申请日:20041111
专利申请权、专利权的转移
2009-01-14
授权
授权
2009-01-14
授权
授权
2009-01-14
授权
授权
2005-07-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-05-18
公开
公开
2005-05-18
公开
公开
2005-05-18
公开
公开
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机译: 在晶体管栅极结构上使用抗蚀刻衬垫以实现高器件性能的方法和结构
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