公开/公告号CN109189063B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 湖南超能机器人技术有限公司;
申请/专利号CN201810970995.2
申请日2018-08-24
分类号G05D1/02(20200101);
代理机构44299 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人姜宗华
地址 410073 湖南省长沙市开福区新河街道晴岚路68号北辰凤凰天阶苑B1E1区B1E1幢13008号房
入库时间 2022-08-23 12:00:33
机译: 制造适用于制造半导体晶片的机器人的夹具结构的方法和适用于制造半导体晶片制造设备的机器人的夹具结构,该夹具结构是由应用于半导体晶片制造设备的机器人的夹具结构制造的
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机译: 用于调整用于测量平移艾格的磁克mtra的移动可磁化层之间的距离的波动和引起磁koepfen的振幅波动的调整装置