溅射靶用背板的修补方法、修补完毕的背板和溅射靶

摘要

本发明的实施方式，是对于包含具有缺损部(24)的铜制的基底(22)的背板(20)进行修补的方法，其中，包括如下工序：对于所述缺损部(24)的表面进行研磨的工序；在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部(24)并使之堆积的工序，所述修补用粒子中含有铜粒子和陶瓷粒子。