一种沟槽栅电荷储存型绝缘栅双极型晶体管及其制造方法

摘要

一种沟槽栅电荷储存型绝缘栅双极型晶体管及其制造方法，属于半导体功率器件领域。本发明克服了传统结构中N型电荷存储层的不利影响，获得更加优异的耐压性能，相比传统方式而言，解决了采用加深沟槽栅深度和减小元胞宽度致使器件的开关性能、导通压降和开关损耗折中特性以及可靠性受损的问题。本发明通过在P型体区上引入串联二极管结构，使得MOSFET的沟道电压拑位在很小的值，从而减小了器件饱和电流密度，改善了器件的短路安全工作区；通过在沟槽栅结构中引入分裂电极和分裂电极介质层，在保证了器件阈值电压和开关速度的同时提高了器件开关性能；浮空P型体区改善了器件正向导通压降与开关损耗的折中特性。另外，本发明提出CSTBT器件的制作工艺与传统制作工艺兼容。